| 과제목적분류 | - | 소속 | 기타 - 기타 |
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| 과제명 | 국문 | Ion-cut에 의한 다층 대면적 초박막 실리콘층 전이기술 개발 | ||
| 영문 | Development of Silicon layer transfer using Ion-cut | |||
| 연구기간 | 2005.11.01 ~ 2008.04.30 | |||
| 연구비 | 270,000,000원 | |||
| 연구책임자 | 우형주 | |||
| 연구내용 | 연구목표 | Ion-cut 기술을 이용한 다층 대면적(8“) 실리콘 초박막(수백 nm급) 전이기술 개발 및 실용화 |
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| 연구내용 | o 대면적 수소이온주입 공정 연구 o 웨이퍼 세정 및 접합공정 개발 o 웨이퍼 분리를 위한 1차열처리 공정 연구 o 접합계면 영구안정화를 위한 고온 열처리공정 확립 |
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| 기대성과 | ||||
| 연구성과 | 논문(0건) | |||
| 특허(0건) | ||||
| 보고서(0건) | ||||