| 과제목적분류 | - | 소속 | 자원활용연구본부 - 자원순환연구센터 |
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| 과제명 | 국문 | 나노 세리아 제조 및 특성제어 연구 | ||
| 영문 | Preparation and Characterization of Nano ceria | |||
| 연구기간 | 2007.10.01 ~ 2009.09.30 | |||
| 연구비 | 200,000,000원 | |||
| 연구책임자 | 윤호성 | |||
| 연구내용 | 연구목표 | 복합재료 원료소재용 고품위 탄산세륨 및 반도체 소자의 고집적화를 위한 평탄화에 요구되는 CMP 슬러리용 nano-size 산화세륨 제조공정 확립 | ||
| 연구내용 | ● 염화세륨 수용액으로부터 반응성결정화에 의한 탄산세륨[Ce2(CO3)3·nH2O] 제조공정 확립 ● 탄산세륨으로부터 메카노케미스트리법을 이용하여 나노급 세리아 제조공정 확립 ● 탄산세륨으로부터 CMP 슬러리용 나노 세리아 최적 제조공정 운전레시피 확립 |
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| 기대성과 | ||||
| 연구성과 | 논문(0건) | |||
| 특허(0건) | ||||
| 보고서(0건) | ||||