| 과제목적분류 | - | 소속 | 기타 - 기타 |
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| 과제명 | 국문 | 희토류 원소별 고도 분리·정제에 의한 IT 산업용 원료 및 응용소재 제조기술 개발 연구(Ⅱ) | ||
| 영문 | ||||
| 연구기간 | 2007.10.01 ~ 2009.09.30 | |||
| 연구비 | 80,000,000원 | |||
| 연구책임자 | 김준수 | |||
| 연구내용 | 연구목표 | 무독성 방오페인트용 충전제 제조의 대규모 Scale-Up 실증공정 개발 ·대규모 제조의 입도제어 및 배합/합성기술 개발 ·Scale-Up 장치제작 및 대규모 시제품 제조의 연속 생산공정 확립 차세대 반도체 평탄화용 세리아 슬러리 제조의 실증화 기술개발 ·반도체 평탄화용 세리아 슬러리 제조의 실용화 공정개발 ·STI(shallow trench isolation)및 HP(high planarity)용 세리아 슬러리 연마 특성 제어기술 개발 |
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| 연구내용 | 무독성 방오페인트용 충전제 제조 ·기계적 합성에 적합한 대량처리의 입도제어 기술개발 ·무독성 방오페인트용 충전제 연속처리 공정개발 및 실증기술 확립 차세대 반도체 평탄화용 세리아 슬러리 제조 ·STI 및 HP 용 슬러리의 연마특성 연구 및 슬러리 제조 공정 확립 |
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| 기대성과 | ||||
| 연구성과 | 논문(0건) | |||
| 특허(0건) | ||||
| 보고서(0건) | ||||