| 학회/학술지명 | THIN SOLID FILMS | 주저자(교신저자) | 노기민 | |
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| 발표매체 | SCI | 국가명 | 스위스 | |
| 논문명 | 국문 | 마그네트론 스퍼터링건의 크기가 플라즈마와 질화탄소박막에 미치는 영향 | ||
| 영문 | The effect of the magnetron sputtering gun size on the characteristics of the plasma and CNx filmdeposition | |||
| 발표일 | 2011.08.01 | |||
| 관련과제 | 전략금속 산업원료화 기술개발 | |||
| 초록 | ||||