특허 상세정보
국가 한국
등록번호 10-0595398 등록일 2006.06.23
특허권자 한국지질자원연구원 주발명자 장희동
명칭 국문 화염분무열분해 반응을 이용한 실리카 나노분말 제조 방법
영문
특허명세서
관련과제 반도체용 실리콘 절단슬러지로부터 고순도 실리콘 화합물 및 실리카 나노분말 제조 기술 개발