특허 상세정보
국가 한국
등록번호 10-1352372 등록일 2014.01.10
특허권자 한국지질자원연구원 주발명자 장희동
명칭 국문 실리콘 슬러지로부터 실리콘염화물의 제조방법
영문 method for producing silicon chloride from silicon sludge
특허명세서
관련과제 반도체?태양전지용 실리콘 컷팅 슬러지로부터 초고순도 Si 제조 기술 개발