| 과제목적분류 | - | 소속 | 자원활용연구본부 - 자원소재연구센터 |
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| 과제명 | 국문 | 반도체용 실리콘 절단슬러지로부터 고순도 실리콘 화합물 및 실리카 나노분말 제조 기술 개발 | ||||||
| 영문 | Synthesis of silicon compound and silica nanoparticles from waste silicon cutting sludge for semiconductor | |||||||
| 연구기간 | 2003.08.01 ~ 2007.03.31 | |||||||
| 연구비 | 947,000,000원 | |||||||
| 연구책임자 | 장희동 | |||||||
| 연구내용 | 연구목표 | 반도체용 실리콘 절단슬러지로부터 고순도 | ||||||
| 연구내용 | 반도체용 실리콘 절단슬러지로부터 고순도 | |||||||
| 기대성과 | ||||||||
| 연구성과 | 논문(1건) |
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| 특허(1건) |
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| 보고서(0건) | ||||||||