| 과제목적분류 | - | 소속 | 기타 - 기타 |
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| 과제명 | 국문 | 플라즈마 용해법에 의한 금속 실리콘 정련기술개발 | ||
| 영문 | A technological development for the refining of metallic silicon by plasma arc meltng process | |||
| 연구기간 | 2008.12.01 ~ 2011.12.31 | |||
| 연구비 | 600,000,000원 | |||
| 연구책임자 | 김준수 | |||
| 연구내용 | 연구목표 | -/플라즈마를/이용한/실리콘/중의/불순물/원소/제어/공정/기술/개발 -/다결정/실리콘/잉곳/내의/순도/및/극미량/불순물/분석/ |
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| 연구내용 | -/플라즈마를/이용한/실리콘/내/불순물/제어/공정/기술개발(Boron/함량:/0.5/ppm/이하) -/결정/실리콘의/극미량/불순물/평가/기술/개발 //(GDMS/분석에/의한/7N급/금속/실리콘콘/순도/및/극미량불순물/평가기술/확보,/다결정/실리콘/잉곳(주관기관/제공)의/순도/및/극미량/불순물/분석)// |
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| 기대성과 | . | |||
| 연구성과 | 논문(0건) | |||
| 특허(0건) | ||||
| 보고서(0건) | ||||