과제 상세정보의 과제목적분류, 소속, 과제명(국문, 영문), 연구기간, 연구비, 연구책임자, 연구내용(연구목표, 연구내용, 기대성과), 연구성과(논문, 특허, 보고서)의 항목에 관한 표입니다.

과제목적분류		-	소속	기타 - 기타
과제명	국문	초고순도 동의 제조 및 순도평가 기술개발
	영문	Preparation and purity evaluation of utra-high-purity copper
연구기간		2009.06.01 ~ 2011.05.31
연구비		650,000,000원
연구책임자		박경호
연구내용	연구목표	-4N급(99.99%) 동 지금으로부터 초고순도 정련기술 및 순도평가 기술개발
	연구내용	- 공칭순도 8N급(99.999999%, 단 비금속불순물 C,H,O,N,S,P,Cl은 제외) - 동시에 비금속불순물 C,H,O,N,S,P,Cl의 각 원소의 함량이 1ppm 이하 - 9N급 동의 순도평가 및 비금속불순물 미량 분석 기술
	기대성과
연구성과	논문(3건)	논문 목록 논문명 저자 고순도 양극동의 전해정련 및 글로방전질량분석법에 의한 극미량불순물 분석 최국선 Effect of Sputtering Power on the Nucleation and Growth of Cu Films deposited by Magnetron Sputtering Le MInh Tung Impurity behavior in Cu refined by Ar plasma-arc zone melting 임재원
	특허(0건)
	보고서(0건)