| 과제목적분류 | - | 소속 | 기타 - 기타 |
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| 과제명 | 국문 | 글로방전 질량분석기를 이용한 In 저감 재료 순도평가 기술 개발 | ||
| 영문 | ||||
| 연구기간 | 2009.10.01 ~ 2011.09.30 | |||
| 연구비 | 100,000,000원 | |||
| 연구책임자 | 임재원 | |||
| 연구내용 | 연구목표 | 글로방전 질량분석기에 의한 원재료, 고순도 분말, I1-x-y(Dy)TxO 타겟의 극미량 불순물 분석에 의한 순도평가 기술 개발 | ||
| 연구내용 | 원재료 및 청청 공정을 이용한 In 저감 재료용 고순도 분말의 극미량 불순물 분석을 행하여 고순도 분말 제조 기술에 요구되는 자료 제공 제작된 In 저감 I1-x-y(Dy)TxO 타겟 내의 극미량 불순물을 분석하여 타겟 제작 중의 오염 불순물을 규명하고 이러한 불순물들을 제어할 수 있도록 자료 제공. |
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| 기대성과 | ||||
| 연구성과 | 논문(0건) | |||
| 특허(0건) | ||||
| 보고서(0건) | ||||